Nagy tisztaságú réz porlasztási céltárgyak – Négyzet alakú (4N-6N)

Nagy tisztaságú réz porlasztási célpontok – Négyzet alakú (4N-6N) Kiemelt kép

Rövid leírás:

Termékspecifikációk
Név: Nagy tisztaságú rézporlasztási célpont
Szabvány： ASTM F68 (oxigénmentes elektronikus réz), ASTM B115, tisztaság ≥99,99% (4N-6N), RoHS-kompatibilis, REACH-kompatibilis
Anyag： C10100 (OFHC réz), C10200 (oxigénmentes réz), nagy tisztaságú réz (4N/5N/6N)
Felület： Precíziósan csiszolt/polírozott, Ra ≤0,4 μm, opcionális indium/ón kötés a hátlaphoz
Mérettartomány: 100 mm × 100 mm – 600 mm × 600 mm (egyedi négyzetes méretek) Vastagság: 3 mm – 50 mm
Tisztasági szint: 99,99% – 99,9999%
Termékjellemzők: Kivételes tisztaság alacsony oxigén- és szennyeződéstartalommal · Kiváló hő- és elektromos vezetőképesség · Egyenletes szemcseszerkezet az egyenletes porlasztás érdekében · Nagy sűrűség (>99,5% elméleti) · Kiváló filmtapadás és lerakódási egyenletesség · Alacsony részecskeképződés · Hosszú céltárgy élettartam és magas kihasználtsági arány
Alkalmazási terület: Félvezető összekötő rétegek, Vékonyrétegű napelemek (CIGS/CdTe), Síkképernyős kijelzők (TFT-LCD), Optikai bevonatok és tükrök, Dekoratív PVD bevonatok, Mágneses adattárolás, Repülőgépipari és autóipari alkatrészek, Kutató és fejlesztő laboratóriumok

Küldjön nekünk e-mailt

Termék részletei

Termékcímkék

Nagy tisztaságú réz porlasztási célpont – Folyamat- és minőségbiztosítási nyilatkozat

Négyzet alakú réz porlasztási célpontjainkat a fejlett bevonási eljárásokban a megbízható vékonyréteg-leválasztáshoz szükséges szigorú szabványok szerint gyártjuk.
A gyártás szigorúan ellenőrzött, vákuumalapú munkafolyamatot követ a rendkívül magas tisztaság és anyagkonzisztencia fenntartása érdekében:
● Nyersanyag-kiválasztás: Kiindulási anyagként csak tanúsított elektrolitikus rézkatódokat (≥99,99%) használunk.
● Vákuumolasztás: A nagyvákuumban vagy inert atmoszférában végzett indukciós olvasztás minimalizálja az oxigénfelvételt és az illékony szennyeződéseket.
●Öntés és finomítás: Az irányított, irányított szilárdulás homogén összetételű és minimális szegregációjú öntvényeket eredményez.
● Melegmegmunkálás: A kovácsolás vagy melegsajtolás közel elméleti sűrűséget és finomított szemcseszerkezetet eredményez.
● Precíziós megmunkálás: A CNC marás és köszörülés pontos négyzetes méreteket eredményez sík, párhuzamos felületekkel.
●Felületkezelés: A többlépcsős polírozás tükörsima felületet biztosít, amely alkalmas tisztatéri használatra.
●Opcionális kötés: Indium vagy elasztomer kötés molibdén/réz hátlapokhoz a hőkezelés érdekében.
●Végső tisztítás és csomagolás: Ultrahangos tisztítás ultrahangos tiszta vízben, majd vákuumzárás kétrétegű tiszta zacskókban.

Minőségellenőrzési rendszer

● Teljes nyomon követhetőség a nyers katódtételtől a kész céltárgyig
● Minden szállítmányhoz anyagtanúsítványok és vizsgálati jelentések mellékelve
● Archív minták megőrzése ≥3 évig harmadik fél általi ellenőrzés céljából (SGS, BV stb.)
● A kritikus paraméterek 100%-os ellenőrzése:
• Tisztaság és szennyeződések (GDMS/ICP-MS analízis; tipikus oxigén <10 ppm)
• Sűrűségmérés (Arkhimédész-módszer; ≥99,5%)
• Szemcseméret és mikroszerkezet (metallográfiai vizsgálat)
• Méretpontosság (CMM; síklapúság ≤0,05 mm jellemző)
• Felületi érdesség és hibák (profilométer + vizuális ellenőrzés)
● A belső specifikációk meghaladják az ASTM F68 követelményeit. Tipikus tulajdonságok: Hővezető képesség >390 W/m·K, Elektromos ellenállás <1,7 μΩ·cm, Állandó porlasztási sebesség és filmminőség.
● A tisztatérrel kompatibilis folyamatok és az ISO 9001:2015 tanúsítvánnyal rendelkező létesítmény biztosítja, hogy minden célpont megfeleljen a modern PVD alkalmazások igényes igényeinek.